en servicio único
Newtek Gas presenta un sistema de generación de oxígeno PSA de vanguardia (adsorción de swing de presión) específicamente diseñado para entornos de fabricación de semiconductores. Esta solución modular ofrece un 99.5% de oxígeno de pureza ultra alta con tasas de flujo que van desde 5-3000 nm³/h, con capacidades de integración inteligente para operaciones de sala limpia.
Ventajas técnicas centrales
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% O₂ Pureza
± 0. 5% Estabilidad de concentración a través del análisis de gas láser en tiempo real
0. 1 μm de filtración múltiple (HEPA+ULPA) asegura el cumplimiento de ISO Clase 3
- Consumo de energía 30% menor que los sistemas convencionales
- El sistema de recuperación de calor reduce la carga térmica en entornos fabulosos
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
El diseño escalable montado en el patio admite 20% -200% de expansión de capacidad
Unidad de compresión de aire (tecnología de pergamino sin aceite)
Torre de purificación (eliminación automática de humedad de TSA)
Gabinete de control inteligente (PLC+HMI con protocolo SECS/GEM)
Aplicaciones de procesos de semiconductores
✔ oxidación térmica
Precision O₂ Supply para el crecimiento de óxido de compuerta (2-200 Å Control de espesor)
✔ Grabado seco
Suministro de gas estable en plasma para patrones a nanoescala
✔ Purga de cámara CVD
Oxígeno ultra secado para prevención de contaminación de partículas
✔ Recocido de obleas
Control de atmósfera de alta pureza para la activación dopante
Sistema de monitoreo inteligente
Monitoreo de impurezas en tiempo real (detección de nivel PPB)
Mantenimiento predictivo con algoritmo de IA (precisión del 98%)
Diagnóstico remoto a través de la plataforma IIOT (OPC UA/MTConnect)
Semi F 5-0202 Normas de gas de la sala limpia
Certificación de seguridad eléctrica CE/UL/ETL
ISO 14644-1 Compatibilidad de la sala limpia de clase 3
proporcionamos
▲ Red técnica global:Soporte multilingüe 24/7 con<4hr response time
▲ Programa de optimización de por vida:Auditoría de eficiencia anual y servicio de reemplazo de tamiz molecular (1- Garantía de año)
▲Soluciones personalizadas:Integración personalizada con sistemas AMHS/MMC
y diseño del sistema de recuperación de gas
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